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作者asd9 (ccj888)
標題[請益] 半導体 薄膜量測儀器
時間Sun Jan 7 14:07:38 2024
原文PTT 原始連結 ↗
請問各位做半導体的先進 薄膜製程中，量測厚度的儀器 一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎? 金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎? 國內有那些推薦的廠商? 謝謝幫忙告之! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.250.83.172 (臺灣) ※ 文章網址: https://webptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1704607660.A.3CA.html ※ 編輯: asd9 (111.250.83.172 臺灣), 01/07/2024 14:30:12

推文 (51)

推 neil0611 KLA… 01/07 14:09
→ ijk1 作業自己做 01/07 14:41
推 hmtsung J.A.Woollam 01/07 14:46
→ say33520 能力好的，用文具店15公分就太夠了。 01/07 14:55
→ crayon56 我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚 01/07 14:56
推 Saynai 橢偏儀廠商… 01/07 14:58
→ n00bmaster 我都拿游標卡尺量 01/07 15:13
推 matsuzuki18 橢圓偏振儀 自己功課自己做 01/07 15:15
推 ehuman 金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器 01/07 15:35
推 kyle5241 XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加 01/07 15:44
→ kyle5241 上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光 01/07 15:44
→ kyle5241 譜不知道要幹嘛而已 01/07 15:44
→ cyteric Semilab 01/07 15:47
推 ssmmll XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀 01/07 17:27
→ ssmmll 可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear 01/07 17:27
→ ssmmll ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS 01/07 17:27
→ ssmmll METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都 01/07 17:27
→ ssmmll 有，看人會不會用。 01/07 17:27
推 ssmmll 能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重 01/07 17:29
→ ssmmll 要的 01/07 17:29
→ wzmildf 老經驗的製程調機都用舔的 01/07 17:31
→ binco 我都叫廠商幫量 01/07 18:27
推 Aixtron 橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！ 01/07 19:35
→ Aixtron 不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD 01/07 19:37
→ Aixtron 有些用AFM也可以 01/07 19:38
→ douge 橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a 01/07 20:08
→ douge 不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎? 01/07 20:09
推 ssmmll 膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際 01/07 20:13
→ ssmmll 應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如 01/07 20:13
→ ssmmll 果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量 01/07 20:13
→ ssmmll 實戰獲得經驗，1D-3D都是。AFM局限性在於表面，速 01/07 20:13
→ ssmmll 度，耗材，但是粗糙度和底層有光學需要decouple的 01/07 20:13
→ ssmmll 應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec 01/07 20:13
→ ssmmll t需要考驗test pad設計。 01/07 20:13
推 a865201233 我都用目測的 01/07 20:55
→ chengzai 桌上J.A.Woollam，in line SEMILAB 01/07 22:57
推 kyle5241 blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦～ 平面的確 01/08 06:33
→ kyle5241 看顏色就行 01/08 06:33
推 jyeabcb 魯道夫 01/08 09:50
推 Aixtron 橢偏有recipe就真的掃掃完事，全新材料有時不見得這 01/08 11:32
→ Aixtron 麽容易！ 01/08 11:33
推 Aixtron 更不用說SOI上有多層膜，不曉得簡單在那裏？ 01/08 11:37
→ Aixtron 不過原理加大量實戰是沒錯的！ 01/08 11:38
推 jim8596 菲希爾 01/08 12:17
→ jim8596 比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠 01/08 12:18
→ jim8596 買 01/08 12:18
推 ssmmll dispersion 不容忽視阿 01/08 12:42
噓 tornado1621 半導本是什麼 01/09 08:02
→ bocang https://www.youtube.com/watch?v=Hod4igTEf30 01/09 14:06
→ bocang 曲博之前有跟ITRI的專訪有介紹 01/09 14:07
噓 N4urose 作業自己寫，什麼是半導本？ 01/09 14:21
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