中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領
域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國
首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。
大陸華工雷射半導體產品總監黃偉指出，半導體晶圓屬於硬脆材料，在12吋晶圓上有數千
顆甚至數萬顆晶片，晶圓切割和晶片分離無論採取機械或雷射方式，都會因物質接觸和高速
運動而產生熱影響和崩邊，從而影響晶片性能，因此，控制熱影響的擴散範圍和崩邊尺寸是
關鍵。
黃偉說，機械切割的熱影響和崩邊寬度約20微米（0.001 公釐），傳統雷射在10微米左右
；此外，切割線寬的減少，意味著晶圓能做到更高的集成度，從而使得半導體製造更經濟、
更有效率。
去年起，黃偉團隊對半導體晶圓切割技術，展開微奈米級雷射加工的迭代升級、攻堅突破
，「最忙時我們團隊20多人兩班倒輪流做測試實驗和產品優化，設備24小時不停。」
經過一年努力，半導體晶圓切割技術成功實現升級，熱影響降為0，崩邊尺寸降至5微米以
內，切割線寬可做到10微米以內。
按照生產一代、研發一代、儲備一代的理念，華工雷射正在研發具備行業領先水準的第三
代半導體晶圓雷射退火設備。
2000年6月，頂著「中國雷射第一股」光環，華工科技在深交所上市。作為華中科技大學
校辦企業，依託大學在雷射領域的技術積累和研發優勢，以及資本市場的融資便利，華工科
技從銷售額不到億元人民幣的「小塊頭」，快速成長為首批大陸國家創新型企業。
根據SEMI（國際半導體產業協會）數據，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021
年明顯提升，從21％提升至35％；大陸國內半導體設備在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP
領域內國產替代率
04:102023/07/12 旺報 李文輝╱綜合報導
https://www.chinatimes.com/amp/newspapers/20230712000663-260303
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推文 (51)
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sunnyhung
贏了…....
07/16 20:37
推
qk3380888
贏麻了
07/16 20:41
推
Peter911
可是晶圓本身做不好是要拿什麼切?
07/16 20:42
推
Roken241225
Disco:
07/16 20:46
推
roger2
說這麽多 還不就是Die saw機台 =.=
07/16 20:50
→
jjrdk
大概就已知使用雷射而已
07/16 20:55
推
h9602b
穩！
07/16 20:56
推
godog
中國大陸自己造 台灣用買的就好了
07/16 20:57
推
li118
慘了 準備要卡美國脖子了，中又贏
07/16 21:13
→
Peter911
要卡啥 切完良率會變高嗎
07/16 21:17
推
crystallake
這跟兩個醫生用的那個會比較不痛嗎？！！！
07/16 21:41
推
AXby
Disco表示
07/16 22:22
推
Merman19
都生不出先進製程了是要切個寂寞是嗎？
07/16 22:28
推
zonppp
中又贏
07/16 22:44
推
givered
die saw機台也可以吹，笑死
07/16 22:53
→
faniour
懂割
07/16 23:15
推
mepass
割的是韭菜吧
07/16 23:20
→
stocktonobrk
團隊20多人...嗯,技術含量一定很高!!!
07/16 23:34
噓
jgoodman
中或贏
07/16 23:52
噓
cityhunter04
雷射切割機？這種東西要自己研究？
07/17 00:10
噓
dearober
Dicing跟laser anneal是要吹什麼==
07/17 00:55
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Madao0149
哪個晶圓廠良率的key在die saw?
07/17 01:21
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WSY000000000
雷射第一股？不是大族嗎？
07/17 02:09
推
ab304044
disco disco 讚讚～ disco disco 讚讚～
07/17 03:39
推
lahugh
超台趕歐美 世界第一
07/17 05:43
推
kyle5241
但如果可以做出高品質雷射退火的話是不錯 目前要做
07/17 05:55
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kyle5241
出穩定雷射其實蠻困難的
07/17 05:55
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Akitsukineko
做出die saw是不是可以贏過dyson？
07/17 06:27
推
michelin4x4
中國在雷射領域 算是不落後的
07/17 06:58
推
viewer1946
https://i.imgur.com/x7lUiOu.jpg
07/17 07:02
→
GGing
做出 die saw 應該贏大創 daiso 了
07/17 07:04
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laechan
中或贏
07/17 07:36
推
BosRedsucks
贏麻了
07/17 07:49
推
lin77616
卡什麼脖子，不會自己生喔。
07/17 07:59
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Akitsukineko
老鼠脖子
07/17 08:01
推
smalljacky03
中又贏
07/17 09:26
推
qwe172839
下次就改吹P&P了 笑死
07/17 12:24
推
tokeyohop
晶圓晶片設計做不起來 做個晶圓切割能幹嘛 ？一種
07/17 13:01
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tokeyohop
沒有米有電鍋的概念
07/17 13:01
推
venomsoul
Disco: 好喔
07/17 13:40
推
kkk99923
算不錯吧 任何人都有起步的時候
07/17 14:53
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guteres
該怕的是當他們全部都可以自己做出來的時候
07/17 20:38
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geniusw
笑死 中或大贏！
07/17 22:50
推
yudofu
難道會覺得中國應該要一個開發完再作下一個的瀑布式
07/18 00:08
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yudofu
開發嗎，笑死，人家是壞不是笨。
07/18 00:08
推
wcre
好歹是自己研發技術，把解放軍破2000億鎂的預算移
07/18 10:01
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wcre
部分來做啊
07/18 10:01
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andysher
HAZ降為零，哪個白癡會信？
07/20 22:56
推
griffeyk
下一個是wafer mount還是Molding?
07/20 23:45
推
dj720c
這種機器有被卡嗎?
07/25 01:02
噓
lastroom
只剩中屎在吹偉大的祖國了 沒下架可惜
07/27 10:29