求線上專業人員（目前小弟是研究生）
小弟研究背電極 光罩
目的是：在掃描電容顯微術中，背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號
那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line還是I-line？ （看了幾份文獻都沒提
到）工程師就說問指導老師，指導老師說問工程師
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.217.130.248 (臺灣)
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※ 編輯: mytaiwan (180.217.130.248 臺灣), 10/21/2022 15:55:55
推文 (39)
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wzmildf
那你不會試看看？
10/21 15:57
噓
Vinurpe
當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話
10/21 15:58
推
nanpolend
太難了超出自身專業太多得問內行的
10/21 16:08
噓
kyle5241
gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎
10/21 16:09
推
flower42
自己去算解析度啊==
10/21 16:13
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lstn
主要看你的pattern和有什麼設備吧
10/21 16:14
推
sl613
看光阻吸收波段吧，不負責回答
10/21 16:14
→
sampo10102
看你的光阻材料啊
10/21 16:15
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flower42
誰知道你線寬多少==
10/21 16:15
噓
Vinurpe
436跟365你比較喜歡哪個數字?
10/21 16:17
噓
Vinurpe
認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降
10/21 16:19
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Vinurpe
你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件
10/21 16:19
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Vinurpe
你也可以寄信去問通訊作者
10/21 16:19
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sc1
用G-line去輪班就知道了
10/21 16:47
推
transletum64
用immersion 閉著眼睛曝光就好
10/21 16:55
推
premise
答案很明顯 是gline
10/21 17:12
推
venomsoul
Line改這麼多版本了喔，趕快來下載
10/21 17:17
→
cefywo
9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K
10/21 17:39
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cefywo
rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？
10/21 17:39
噓
XperiaZ
getline
10/21 17:39
推
depen
看圖案線寬大小決定用那個
10/21 17:54
噓
Cinderlin
作業自己寫啦
10/21 18:25
推
wisebani
建議直上GTline,比較超值
10/21 19:05
推
Mbappe10
問就是gline
10/21 19:09
噓
ijk1
當然是high NA EUV
10/21 19:18
噓
hihowareyou
G point
10/21 20:30
→
bensonliu
G
10/21 21:43
推
jtsu5223
顯微鏡手刻即可
10/21 21:56
推
onomedu
皆可使用
10/21 22:08
推
abcdyy
ST line 也不錯 考慮一下
10/21 23:43
推
huhuiying
gline呀
10/22 00:18
推
imhanhan
太難了 我只知道highlight
10/22 07:19
推
fiber1124
哪麼大的線寬，搭配適合的光阻都曝的出來，要先看
10/22 11:42
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fiber1124
後續的製程需要要什麼樣的光阻吧！
10/22 11:42
推
ohlaohhh
Gline 就夠了，殺雞用牛刀
10/22 12:31
噓
Satansblessi
手刻啊！ CD那麼大
10/22 20:39
噓
ji394vul3nn
.…....
10/23 16:10
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z515026
黃光設備工程師歡迎你
10/25 12:04
推
ian41360
9mm我都用手刻給你參考
10/25 12:58