請問因為最近要做簡報，看到MEMS PIQ release，一直查不到這到底是什麼意思，我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼，中英文的全名叫什麼呢？算製程嗎？跟各位前輩請益，謝謝！
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推文 (11)
推
XoPXoP
good
06/25 15:39
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YJM1106
TBH,IDK
06/25 15:46
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newfolder
LMAO
06/25 15:49
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wellkom
RTFD
06/25 15:50
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Shellingford
請拿去餵狗就知道了
06/25 15:51
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wellkom
已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit
06/25 15:51
推
jackie0825
STFU
06/25 16:14
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h7705060
通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作
06/25 16:23
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h7705060
結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這
06/25 16:23
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h7705060
個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch
06/25 16:23
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mark183
謝謝h7705060大大！
06/25 16:41