請問 各位先進
我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。
設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。
如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?
設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。
是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。
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推文 (26)
噓
pinkowa
1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。
03/09 00:04
噓
wzmildf
自己的功課自己做
03/09 00:09
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johnyson
以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單
03/09 00:27
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johnyson
更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能
03/09 00:27
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johnyson
量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與
03/09 00:27
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johnyson
氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些
03/09 00:27
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johnyson
細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設
03/09 00:27
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johnyson
備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難
03/09 00:27
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johnyson
有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，
03/09 00:27
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johnyson
除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費
03/09 00:27
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johnyson
用起碼也要找second source的廠商去評估吧！
03/09 00:27
噓
jim543000
你不會把target裝上去試嗎？
03/09 01:47
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jim543000
會怕還敢買機器自己retrofit
03/09 01:49
噓
cxzdsa
真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。
03/09 05:38
噓
Mysex
自己的專案自己做
03/09 07:18
噓
tseng413121
你肯定沒念過研究所
03/09 08:43
噓
x080944924
自己不會試試看？
03/09 08:44
噓
vdfoty
大一生？
03/09 09:14
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avgirl
484你公司老闆又在異想天開惹? QQ
03/09 12:04
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douge
可以
03/09 12:57
推
hyenhan
可以啦
03/09 17:57
推
hyenhan
看是反應式濺鍍還是icp的
03/09 18:00
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hyenhan
遲滯曲線抓一下
03/09 18:01
噓
Ensoul
花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎
03/09 20:30
噓
Keelungman
DC? RF?
03/09 23:10
噓
allen8694
是在反串？！
03/09 23:35