5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術:產能大漲600%
提到荷蘭ASML公司,大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生
產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害,今天他們宣布了另外一個新產品——
第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用於5nm及更先進工藝,使得產能大漲600%。
隨著製程工藝不斷提升,晶圓的製造也越來越複雜,這也會導致晶圓中的錯誤更多,HMI
eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的檢測系統,內部也有復雜的光電子系統,能夠產
生、控制多個電子束,然後根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量,並有高速運行的
平台以控制測試的晶圓數量,還要有計算系統處理電子束的數據。
簡單來說,ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一台驗證先進工藝生產出來的晶圓質
量的系統,工藝越先進,檢測系統就越重要,它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。
ASML的HMI eScan1000的突破之處在於能夠同時產生、控制九道電子束,所以產能提升了
600%,可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。
目前HMI eScan1000可以用於5nm及以下先進工藝的晶圓測試,已經交付給客戶進行測試驗
證,未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。
https://tech.sina.com.cn/roll/2020-05-28/doc-iircuyvi5561899.shtml
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推文 (43)
推
JerianGrant
All in 艾斯摩爾
05/29 00:25
推
games
這個時候應該站出來說話了
05/29 00:28
推
Exusiai
看來帆宣要暴漲了
05/29 00:33
→
Exusiai
ASML Supply Chain
05/29 00:34
→
zero3445
檢測漲600% 然後??
05/29 00:45
推
lewisk
https://i.imgur.com/xjhaYL3.jpg
05/29 00:47
推
br2658
然後機台貴3~5倍啊
05/29 01:23
推
kimfatt
也就打到KLA吧? 機台可以少擺一些
05/29 02:01
推
jake0916
電子束量測速度跟保養時間是最大缺點
05/29 02:04
推
jumpout
漢微科QQ
05/29 02:23
推
qwe172839
KLA:
05/29 03:19
→
louiswu
eBeam的用途跟量產還是有差啦
05/29 04:34
推
Alderamin
綁架一起賣
05/29 06:04
→
InvincibleK
英特爾笑而不語,用表情表示:
05/29 07:07
推
moonth66
漢微科不是已經併到ASML了嗎
05/29 07:20
推
motan
然後讓更多晶圓廠知道自己產品多垃圾
05/29 07:23
→
pf775
這家才是真正的半導體技術主導者
05/29 08:59
→
Brightheat
柯磊這塊本來就輸掉很久了 檢測很多機台的這只是其中
05/29 09:01
→
Brightheat
之一
05/29 09:01
→
tedfrog
eBeam機台市占率比較高的還是AMAT
05/29 09:06
推
john09935087
檢測機台超級多的啊
05/29 09:41
推
Satansblessi
All in ASML!
05/29 09:56
推
aaa790311
願意來ASML的可以內推 站內聊
05/29 10:19
→
litcurler
樓上是在釣魚嗎?
05/29 10:36
推
zxc0312
這家不就是台積電的老爸嗎
05/29 11:43
推
qwe172839
不用什麼更多晶圓廠 用得到這套的也就那兩家...
05/29 11:46
推
azureroki
樓樓上錯囉 台積是這家的老爸
05/29 12:13
→
s02180218
高精度留給GG買 其他落後有兩個世代的買去只會掃出一堆
05/29 12:17
→
s02180218
false
05/29 12:17
推
ji394vul3nn
質量?
05/29 12:30
推
nnnnnnnnnn
產能漲6倍的意思是機台以後會少買,但漲價嗎?
05/29 13:47
推
Narcissuss
high light項目漲600%
05/29 14:48
推
tsairay
GG之前就入股ASML啦
05/29 16:43
推
gj942l41l4
良率100%做啥檢測
05/29 19:27
推
f798210
amat ebeam team表示:終於可以少顧一些了
05/29 20:13
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jonathan0719
介面可以人性化一點嗎
05/30 00:44
推
DimlyLit
KLA: Q_Q
05/30 03:56
推
bobjohns
gg比較操 還是asml比較操
05/30 07:56
噓
DreamerSun
然後薪水一樣低
05/30 14:06
推
coodblood
東京X力的track比較操
05/31 07:07
噓
SchoolStore
然後薪水..
05/31 10:12
推
Azraelz
所以機台數量未來只剩1/6
05/31 11:33
→
seanidiot
可是這個產出本來就很弱啊,沒增加一個數量級敢說嘴?
05/31 19:30