因為離開晶圓廠有點久了
而且以前也不是黃光的
請教的問題可能很瞎
請多包涵
想請問7nm跟14nm用的光阻會不同嗎?
我以前的想法是跟機台比較有關
精度差異大的的機台可能搭配的光阻不同
或是我也是對的，因為7nm是跳了一個難度gap
只能適用全新技術的photo機台
理所當然光阻也不同?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 123.241.131.60 (臺灣)
※ 文章網址: https://webptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1575288150.A.0DE.html
這位你在晶圓廠待過嗎?我相信絕對不是高中物理
很高興你有高度警戒心，但我真的台灣人XD
我也堅決反共反獨裁，支持改國名為台灣
我只是看到stock版文章，然後自己想了一下發現相關知識已經忘光光
google只能找到會的(基礎的)，所以跑來問一下
通過你的回答我知道了，主要是看做哪一道對吧
所以跟機台無關嗎?
我認為能啊，不然幹嘛這裡問
或者可以請你介紹一個能問到答案的其他地方嗎?
而且我的重點只想知道跟機台有沒有關係而已XD
感謝樓上各位!
※ 編輯: newper (123.241.131.60 臺灣), 12/02/2019 20:55:40
推文 (62)
推
smallstitch
不告訴膩雷。
12/02 20:04
→
smallstitch
雷
12/02 20:05
噓
ming60406
高中物理
12/02 20:25
→
Cramael
想知道這的通常是對岸人士，不過黃光這麼多道，同node就
12/02 20:27
→
Cramael
有不同光阻了，你還是直接問用每道用哪種光阻比較快
12/02 20:27
→
a810086
光阻有很多種，從前段到封裝各個製程都有不一樣的，光是
12/02 20:36
→
a810086
封裝就有好幾種
12/02 20:36
→
a810086
線路越細要求解析度肯定更高，其他請專業的前輩回答
12/02 20:37
噓
hoyo992
你真的人認為在這能問到答案嗎
12/02 20:40
推
Cramael
以前是小整合的認知，光源、解析度、要檔蝕刻的量、正負
12/02 20:41
→
Cramael
光阻都會用不同光阻，這開發的時後都會評估
12/02 20:41
→
Auslayer
底片有分感光速度，7nm跟14nm製程光阻就算成分種類一樣
12/02 20:42
→
Auslayer
，配比也會有差異
12/02 20:42
推
b777300
當然有差異，跟車零件的精細度是一樣的，只是一個是車刀
12/02 20:51
→
b777300
硬度與精細度，一個是解析度與照射時間
12/02 20:51
推
orangelin76
不同製程要求的解析不同，感光成分一定也會有所調整
12/02 20:53
→
orangelin76
，即便可能可以用，材料商肯定會跟你講成分不一樣，
12/02 20:53
→
orangelin76
要加價賣你，除非製程本身很強，可以自己去抓參數
12/02 20:53
推
onlydo
EUV光阻跟一般光阻不一樣
12/02 21:36
推
maikxz
直覺上不同光源會主要影響選用的成分，不同波長影響吸收
12/02 22:17
噓
rainlistener
介於一樣跟不一樣之間
12/02 22:18
推
hiyakaikai
PIP好嗎 這邊不可能問的到
12/02 22:20
推
a810086
其實我更想問的是製程極限會不會不是發生在機台而是因為
12/02 22:33
→
a810086
光阻做不到，導致後續3nm1nm碰壁
12/02 22:33
推
qwe172839
全台灣搞不好還沒幾個人摸過EUV 怎麼可能問得到
12/02 23:02
推
CIIIO
不同波長的光所需要的光酸不一樣
12/02 23:05
噓
ian41360
問這幹嘛? 要不要 dosage focus 一起講?
12/02 23:10
推
j0958322080
偷偷告訴你是用OMOG，剩下的我不能再說了
12/02 23:18
噓
david83126
問這幹嘛
12/02 23:39
噓
s869225
問這問題真的很瞎
12/02 23:44
推
switch
非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光，
12/02 23:49
→
switch
光阻應該一樣或差不多，EUV 7nm 光源波長差那麼多，光阻
12/02 23:49
→
switch
當然不一樣。
12/02 23:49
噓
si5111
PIP 誰要跟你講
12/02 23:56
→
DazaiOsamu
作業自己做==
12/03 00:01
推
jwptt0120
碩班做25um跟100um都用同一種PR
12/03 00:16
→
jwptt0120
給你參考
12/03 00:16
噓
KaYan
PIP
12/03 00:42
噓
ANava
學生作業自己做啦
12/03 00:43
推
gj942l41l4
應該是12樓講得那樣
12/03 01:18
→
gj942l41l4
會因為感光速度有成份微調
12/03 01:18
→
gj942l41l4
我碩班做25um和100um用不同PR耶，不過是厚度不是線寬
12/03 01:19
噓
outzumin
看你可憐 光阻正負會影響最小線寬 黏稠度也會
12/03 04:08
→
outzumin
剩下自己做功課
12/03 04:09
→
autoppp
其實一樣沒問題
12/03 05:46
推
ARPG
你每天站在GG大門口，開一看就知道了
12/03 07:15
推
motan
奈米越小臉越黃，選我正解
12/03 09:08
噓
Satansblessi
PIP...
12/03 09:16
→
Satansblessi
而且同平台不同設備也可能有不同光阻搭配
12/03 09:16
→
Satansblessi
當然你要知道rough的答案就是不同
12/03 09:17
噓
snoopy790428
日光燈會越來越黃
12/03 09:49
→
abyssa1
應該可以用一樣光阻的去做 只是良率效能會很差 所以肯定
12/03 10:51
→
abyssa1
會微調或大改配方 兩個製程客戶能接受的價格也不同 最適
12/03 10:51
→
abyssa1
合的配方肯定不會一樣
12/03 10:51
噓
bnd0327
不同 layer 光阻就分好多種了，你問有沒有一樣的比較快
12/03 11:38
→
YTVW
double patterning
12/03 11:39
推
iFann
光阻..問光阻商就好啦...光阻製程定下來後夭壽難換的
12/03 11:42
→
faniour
線寬、厚度、正負型、光源、機台、塗布都有影響
12/03 13:31
→
faniour
光阻商願意調整多少，交期多急....
12/03 13:33
→
faniour
連帶影響要大改還是盡可能調整成分比例去解決
12/03 13:35
推
sky020488999
當然有差 不然幹嘛花好幾十億買泡水機
12/03 15:18
推
catch27
PIP
12/03 18:38