看新聞說是光阻有問題 一般而言，如果是光阻的問題，會有可能反應在1.CD 2.defect上。 正常來說，若是critical layers，些微的CD變化都會被逮到，因此我認為是critical la yers 的機率並不高。 再來是non-critical layers 這些多半對CD不敏感，甚至幾個nm到10幾nm的偏差，都是屬於正常範圍。這種清況下，就 算CD飄一點，可能都還在control limit 內，不一定會low yield。 最有可能的是scum，也就說曝光顯影後，還有殘渣。如果是光阻厚度變薄，或是peeling ，defect scan/review就會逮到。因此，推測scum的機率大。 若是ETCH layers，scum可能會有defect scan看不的的bridge (被structure)擋住，掃不 到。 如果是IMP layer，打進去的離子濃就變低，電性上就可能是low yield。 如果真的是光阻出問題，我猜問題大概是這樣。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 27.247.194.206 ※ 文章網址: https://webptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1548818273.A.9AF.html ※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 11:18:20 這個很難說 我沒辦法講的再簡單了，只能這樣。 確實可能是原物料品質差異造成的。 通常都是推一隻羊出來抗。 等真相查明的時候，羊都快變驢了。 IMP layer通常都是打完接strip，然後就下一家了。 這個不能說不可能，要看看有沒有人夢到了。 ※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 13:35:12 一切只是猜測，連是否是光阻出問題都不確定。 除非是光阻受到金屬污染，不然可進光阻的機台，就不會有光阻污染。 不是XD 這種事猜錯很正常 ※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/31/2019 07:34:15