: 她強調，會要求供應商賠償，否則將提告索賠，但不透露供應商公司名稱與化學品名；
供
: 應鏈傳出確定是美商，另傳是供應光阻液或研磨液。
: 備註 : DOW ?
小弟不專業的分析一下
黃光也就兩種原物料，光阻跟顯影液
如果是光阻過期，這個不太可能驗不出來，因為在COA上有一欄是驗CD的
光阻過期或氧化會導致CD異常
再怎麼樣in line也會看到CD ooc或 oos
另一個可能是顯不乾淨，但這種顯影defect說KLA驗不出來 就很奇怪了
sp機台都號稱可以驗到2奈米的pa
而且4大製程裡面就黃光的in line inspection tool最多
如果是CMP slurry的過期，不負責的推測可能會有sio2粒徑不一致導致晶圓刮傷
這個說KLA掃不到，也很奇怪
原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑個幾萬片才發現
除非。。。事情不單純
以上是不專業之不負責推論
有沒有巷子內的要出來爆掛一下???
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推文 (11)
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tabrisPTT
內部問題一定更大，最好是上機前測試測不出來
01/30 07:58
推
yai5217
換供應商沒先試run產品嗎 怎麼可能
01/30 08:10
推
EeePC901
李組長 眉頭一皺0.0
01/30 08:13
推
snoopy790428
蝕刻幾萬片也都沒狀況 KLA也沒驗到什麼真不科學
01/30 08:18
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p20162
我也蠻好奇的 這麼貴的東西光是能做到後面才發現就很誇張
01/30 08:46
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p20162
了 還能做這麼多片
01/30 08:46
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tabrisPTT
說白了就是螺絲鬆了
01/30 08:58
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rockonpizza3
Y分不清L跟E,一直殺錯~
01/30 09:18
推
marco79811
有時候有些電性的東西異常defect也抓不到呀
01/30 09:48
推
poba8506
話說KLA是不是又要推新機了，每次都來這招
01/30 09:56
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litcurler
先猜供應商之間的角力
01/30 10:40