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不要唬爛好嗎？
基本的是雙氧水、氨水+雙氧水、鹽酸吧？
IPA有用啦，不過不是主要用途吧？
還有怎麼不提還是會用HF?
還好我跑了，抽氣效率一差、DI角度一跑就報廢
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推文 (19)
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Homedoni
洗淨就etching的一種 可放在擴散部的爐管前洗淨
11/06 14:02
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Homedoni
乾式去光阻後也可能用硫酸再洗一次 也可以用來蝕刻圖案
11/06 14:03
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Homedoni
應用算滿廣的
11/06 14:03
推
bbbcccddd2
算蝕刻的，不過是濕蝕刻，基本上就以水跟IPA為主，除
11/06 14:07
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bbbcccddd2
非想拿來洗特別的材料才需要用專用的溶劑去洗
11/06 14:07
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jengmei
在設備裡算爽缺了
11/06 14:15
推
Yesw
薄膜好太多了！洗淨設備就wet設備,一有問題報廢都是一拖拉庫
11/06 14:20
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Yesw
.....
11/06 14:20
推
L010089
wet絕對是屎缺
11/06 15:09
推
kurtgod
WET CLAEN在GG也是屎缺
11/06 15:11
推
Yesw
是我不會再選wet了..目前手上又一份大量報廢的報告要寫囉QQ
11/06 15:18
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wzmildf
我是不知道力晶啦，但是說wet etch只有水和ipa的...積點
11/06 15:25
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wzmildf
陰德好吧不要這樣坑人
11/06 15:25
推
Yesw
我某公司wet clean設備，用到的酸可多了～
11/06 15:37
推
Yesw
重點不在用酸，那些自己工作上本來就要小心做好防護，刺激
11/06 15:39
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Yesw
的是報廢都很大量，不管是defect還是機台傳送出問題都容易
11/06 15:39
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Yesw
導致大量產品在你面前說掰掰
11/06 15:39
推
kurtgod
wet 酸以GG來說大宗應該就是HF 硫酸和卡羅酸吧？？？？
11/06 17:38
推
sad5960159
硫酸 阿摩尼亞 IPA 磷酸 HF EKC 這幾種比較常見
11/29 02:19