請問為何CMP的機台都在Fab角落或是邊邊角角的地方?
有些Fab甚至連CMP的區域都有獨立隔間,
幾乎沒見過像是T/F,Etch那種散落在Fab各區的~
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推文 (16)
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plocer
不懂問這個要幹嘛??? 羨慕CMP?
03/16 14:14
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plocer
認真回答你...CMP因為機台需要供應Slurry!
03/16 14:15
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plocer
總不能機台散落FAB各個區域然後要廠務拉管拉的到處都是..
03/16 14:16
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jack21205
認真回你，太髒
03/16 14:35
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jack21205
Residue embedded scratch 全都HL CMP就對了
03/16 14:36
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javis3021
粉塵重啊，有無塵跟沒無塵一樣
03/16 15:23
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prsb
想一下CMP的用途，還有查slurry成分，應該就有底了
03/16 15:47
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sages
不要害廠務啦 管跑來跑去的很麻煩唉
03/16 15:48
推
agod2005
認真回你太髒，湯湯水水怎麼能和真空器材放一起
03/16 16:40
推
deltarobot
Emb先嗨賴TF吧
03/16 17:37
推
ctainan
Ebara 宣稱 dry-in - dry-out, 真的這麼神嗎?
03/16 18:06
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GUNDAM
很早前兩大CMP商的機台就dry in dry out
03/16 18:27
推
angerenergy
就算沒有完完全全dry out 那也是鎖在foup 裡啊 Eb
03/16 22:13
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angerenergy
ara算不錯了啦
03/16 22:13
推
bbbcccddd2
豆豆磨來磨去……讓我想起這首廣告歌
03/17 03:22
推
FK6819
因為CMP髒，對就是那種髒！
03/17 21:45