[新聞] 生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「

作者enouch777 (雷)

標題[新聞] 生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「

時間Tue Mar 25 15:19:57 2025

原文標題：生產3奈米晶片！陸半導體技術重大突破「不同於ASML」 ※請勿刪減原文標題原文連結： https://bit.ly/4hIRq3A ※網址超過一行過長請用縮網址工具發布時間： 12:232025/03/25 工商賴瑩綺 ※請以原文網頁/報紙之發布時間為準記者署名： 12:232025/03/25 工商賴瑩綺 ※原文無記載者得留空原文內容：大陸快科技報導，中國科學院研發除了突破性的固態DUV（深紫外線）雷射，可發射193nm的相干光，與目前主流的DUV曝光波長一致，能將半導體製程推進至3nm。據悉，ASML、佳能、Nikon的DUV光刻機都採用了氟化氙（ArF）準分子雷射技術，透過氬、氟氣體混合物在高壓電場下生成不穩定分子，釋放出193nm波長的光子，然後以高能量的短脈衝形式發射，輸出功率100-120W，頻率8k-9kHz，再透過光學系統調整，用於曝光設備。中科院的固態DUV雷射技術完全基於固態設計，由自製的Yb:YAG晶體放大器產生1030nm的雷射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。之後，轉換後的兩路雷射透過串級硼酸鋰（ LBO）晶體混合，產生193nm波長的雷射光束。最後獲得的雷射平均功率為70mW，頻率為6kHz，線寬低於880MHz，半峰全寬（FWHM）小於0. 11皮米（千分之一奈米），光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。基於此，可用於3nm 的製程節點。報導稱，這種設計可以大幅降低微影系統的複雜度、體積，減少對於稀有氣體的依賴，並大幅降低能耗。報導指出，這種全固態DUV光源技術雖然在光譜純度上已經和商用標準相差無幾，但是輸出功率、頻率都還低很多。對比ASML的技術，頻率達到了約三分之二，但輸出功率只有0.7％的水平，因此仍然需要繼續迭代、提升才能商用。心得/評論：每次看中時集團的新聞都覺得好好笑標題很會下～生產3奈米？內文193nm DUV ~只能生產65nm好嗎？要搭配immersion 才能做40nm以下到7nm 你光能量只有ASML的0.7%，到底樣泡水裡面？笑死人 ※必需填寫滿30正體中文字，無意義者板規處分 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.138.20.95 (臺灣) ※ 文章網址: https://webptt.cc/bbs/Stock/M.1742887200.A.578.html

推文 (173)

噓 angeltear15 吹起來 03/25 15:20

推 fbiciamib123 中又贏 03/25 15:21

噓 cityhunter04 之前都手刻5奈米了，3奈米算什麼？ 03/25 15:21

推 kobebrian 為啥可以下這個標題？ 03/25 15:21

→ stanleyplus 中又贏麻 03/25 15:22

噓 Jaline5566 中國又在吹了 03/25 15:22

→ ohya111326 中國哪次不成功 03/25 15:22

推 n3688 開頭先寫明中時可以節省很多人時間 03/25 15:23

推 Gipmydanger 讚喔又贏了 03/25 15:23

→ imlucky 涼綠呢？ 03/25 15:23

推 chou3321 鍾幼瑩 03/25 15:24

推 fat980 深淵大突破 03/25 15:24

噓 southpeace 騙我時間 03/25 15:24

噓 edward198791 喔是喔 03/25 15:25

推 bestbaseball 不懂的人會以為很屌啊 03/25 15:26

推 b455104 這種文一出鹿港就是至少緩跌半年 03/25 15:26

→ raku 笑死實驗室生產有屁用連良率都沒有的製程 03/25 15:27

噓 squelch 結果還是不能用 03/25 15:27

噓 elmo0155 中時的 03/25 15:28

推 pimday 拜託你快點傾全國力量去做有多少做多少 03/25 15:28

推 hpk89 前面吹完嚇死人，後面一看0.7%笑死人 03/25 15:28

→ jyan97 0.7%== 03/25 15:29

推 hihi29 東升西降中國或成最大贏家 03/25 15:30

推 adwn 贏麻了 03/25 15:32

推 fantasyscure 良率呢？ 03/25 15:32

→ jei01 三星和Intel連拿到EUV也作不出像樣的東西來 03/25 15:32

推 win8719 最後一句是重點~不能商用 03/25 15:32

→ jei01 你想追上還早 03/25 15:32

→ pkmu8426 反正已經是中美的事跟台無關惹 03/25 15:33

推 Lowpapa 反觀 03/25 15:33

推 c41231717 記者只要抄文章了事就好了真正的薪水小偷 03/25 15:34

噓 gtaped05550 有沒有陸吹快點出來吹我來笑 03/25 15:34

推 ajkofqq TSMC DIE! 03/25 15:35

推 aaa80563 丸子買些台G壓壓驚 03/25 15:36

推 OSDim 這是好事，多浪費一點電啊嘻嘻 03/25 15:37

噓 hrml 智障新聞 03/25 15:37

推 suzu1 難怪台積電一直崩，原來早知道了 03/25 15:37

噓 knifeking 良率？繼續吹 03/25 15:38

推 bior1234 雷射平均功率70mW XDDD 03/25 15:38

推 jeter8695 讚習近平趕快補助中芯多買一點 03/25 15:39

→ HsihHan 東升西降以太平洋來看 03/25 15:39

噓 junior020486 好了啦，七奈米良率先起來再說 03/25 15:40

→ fywei 為什麼要一直發智障新聞 03/25 15:41

推 ahong88105 還笑的出來啊… 03/25 15:42

推 walker6765 我大中國不是早量產ㄧ奈米了？ 03/25 15:42

推 soon55555 你只能相信有東方神秘力量 03/25 15:43

推 jvor0719 永遠成功每失敗過好神話的民族 03/25 15:43

推 BY1326 https://i.imgur.com/FKAxchN.jpeg 03/25 15:43

推 stjerry0303 不是3米嗎？ 03/25 15:43

推 ahong88105 這是國際光電協會SPIE發的新聞 03/25 15:44

→ ahong88105 https://i.imgur.com/QxW2ZqZ.jpeg 03/25 15:44

→ CTTSAI 文組… 03/25 15:44

推 ahong88105 https://reurl.cc/rEg0nk 03/25 15:45

推 david3033 現實中越會吹的越沒有自信看看三星 03/25 15:45

推 losage 這是工商日報耶… 03/25 15:46

推 alexxyang 太強啦祖國麻煩小米oppo別再用美麗國高通了好嗎 03/25 15:46

→ ahong88105 這篇寫的比較詳細 03/25 15:46

→ losage 不是，原來是中國時報… 03/25 15:46

→ alexxyang 灣灣製的高通晶片到底有啥好 03/25 15:47

推 nady0953 十年前的技術.. 03/25 15:48

推 yuuu9 神速這樣要世界第一遲早的事 03/25 15:48

噓 instill8 聯合重工系統 03/25 15:49

噓 zxc89003 贏麻了 03/25 15:49

噓 zalasas39 彎道超車厲害了 03/25 15:51

推 JerryLian 低頻光怎麼轉高頻光？ 03/25 15:55

噓 Ayasaki0916 真的贏麻了 03/25 15:55

噓 ketter 別說了我們繼續找白手套買台積電晶片 03/25 15:55

→ atk0069 70mW…… 03/25 15:56

推 k1k1832002 應該是混著講了,3奈米大概是看華為專利來的 03/25 15:56

推 alphish 但是5年之內要小心就是了到時GG 3000不知道穩嗎 03/25 15:57

推 yuebin 迭代到能3奈米商用，ASML都不知道已經0.幾奈米了 03/25 15:57

噓 bairn 搖搖領先，雙贏 03/25 15:58

推 mainsa 別家用超過20年的技術現在才弄到0.7%能量還能蝦吹 03/25 15:59

→ mainsa 有時候覺得支吹很容易滿足 03/25 15:59

推 Roger5566 遙遙領先喔 03/25 16:00

→ Like5566Like 獨門秘技就是找白手套跟GG下單 03/25 16:04

→ ifay 台積電是不是有人跑去技轉 03/25 16:05

噓 F20V 中國或成最大贏家 03/25 16:07

→ F20V 中時、聯合報不知道拿了共產黨多少錢，整天吹中國高 03/25 16:08

→ F20V 大上 03/25 16:08

噓 sonyvaio 甘五口林 03/25 16:11

噓 TRIGUNKING 閱~ 03/25 16:11

噓 mccloud 哇中時 03/25 16:12

→ mccloud 總裁蔡衍明表示，媒體的責任，講求一個「真」 03/25 16:12

推 chienk 根本就是內耗。 03/25 16:12

噓 devifuqi 雙贏贏兩次 03/25 16:13

推 k798976869 手刻晶片繼續騙補助 03/25 16:14

推 dwood123 只有0.7%的功率為何叫重大突破？ 03/25 16:15

→ DL3 三奈米良率0.1%？這樣能幹嘛？ 03/25 16:16

推 davidtoldyou 祖國偉哉吹起來 03/25 16:16

推 FXW11314 70mW是雷射筆喔… 03/25 16:16

推 hamnett17th 一定是手刻晶片 03/25 16:19

→ noirskakashi 去年不是要搞光刻廠 03/25 16:20

推 mumuwei 還以為是手刻進度到3奈米了 03/25 16:21

噓 WTF55665566 大媽手刻或成最大贏家 03/25 16:21

推 guowei616 這新聞我看好幾年了 03/25 16:24

推 ts0045851127 這不是很久以前的技術嗎 03/25 16:30

推 ETTom 新聞一堆爛標題不是第一天了有傾向的新聞幾乎都會 03/25 16:32

推 dbdudsorj 中國一定強中國一定強一起唱！！ 03/25 16:36

噓 river98 急了 03/25 16:39

推 gfsog 哦哦哦真的假的，原來是中屎報系 03/25 16:41

推 scott67871 支或淫 03/25 16:42

推 zsquarez 是喔是喔真都假都 03/25 16:45

推 kentin 反正習包子也不懂能騙補助就好 03/25 16:46

噓 alin1028 中時食屎 03/25 16:48

→ Cyslot 先量產再說吧... 03/25 16:49

噓 uxy82 詐騙新聞zzz 03/25 16:53

噓 baboosh 笑死反正全靠吹 03/25 16:56

噓 snoopyboy123 老師傅手工奈米級芯片是吧 03/25 16:57

推 j3 70mW 還差1000倍 03/25 16:59

推 saladbread 彎道超車 03/25 17:01

噓 mynewid 手刻早就發展出來了 03/25 17:03

→ painvano 叫deepseek先用啊不要向輝達買 03/25 17:06

推 Roger1015 手刻晶片 03/25 17:11

推 s06i06 問就是中又贏 03/25 17:12

推 q22w 0.7% XDDDDDD 03/25 17:21

推 eelse 繼續騙補助 03/25 17:22

推 boy1031 去用百倍價買台積電2奈米，再磨字，萬倍價跟共慘要 03/25 17:31

→ boy1031 補助，就搞定 03/25 17:31

推 NEWinx 無法商用也先吹再說，這很中國 03/25 17:34

→ Jeff1989 不曉得離商用階段還要多久 03/25 17:39

噓 chungj 中時日常 03/25 17:51

推 exrana 呼呼呼 03/25 17:53

推 pt993526 難怪鹿港大漲 03/25 17:54

→ chaojune 笑死 03/25 17:56

推 curlymonkey 彎道超車開卷 03/25 18:05

→ ActionII 0.7趴的功率0.0？ 03/25 18:12

→ ActionII 這樣要商用是不是只能力大磚飛 03/25 18:13

推 u327825 唐湘聾吹好幾天了，我聽到笑到流眼淚 03/25 18:19

噓 ttgg 統戰新聞台不必看 03/25 18:26

推 s213092921 麒麟9020都追上台積電5nm了，下一次就是追上3或4nm 03/25 18:33

推 amigowei 研發最新最利最高科技的美工刀 03/25 18:38

推 acswat 太牛逼了 03/25 18:38

→ eriker 中時 03/25 18:42

噓 Rutschman 中屎的日常 03/25 18:48

推 mecca 肯做肯試推 03/25 18:48

推 inoran54787 看到中時就先打1折 03/25 18:59

推 zsp8084 又贏 03/25 19:01

噓 ai86109 中國又贏了 03/25 19:11

噓 bifox 快科技哪根蔥 03/25 19:21

推 assian 是30年老師傅施工的嗎? 03/25 19:24

推 talentsu 小熊維尼國不是已經0.3奈米了嗎？ 03/25 19:28

→ wilson5938 爻爻領先 03/25 19:29

推 fastfu 沒藥醫 03/25 19:31

推 a524528 可以用在3奈米這句話本身就很有趣 03/25 19:43

→ a524528 因為3nm還是需要些比較舊的機型 03/25 19:43

推 ian41360 0.7%…水就吸收了吧 03/25 19:52

推 harddriver 貼牌 03/25 19:57

推 linuxpi 詐騙之國 03/25 20:07

推 awss1971 不吹不黑...中必贏又贏雙贏贏兩次贏麻了!! 03/25 20:07

→ imba789 搖搖領先 03/25 20:10

噓 l835566 準分子雷射很久了...講得很潮一樣 03/25 20:24

推 BrianTN17 吹幾次了?十五年前就說超越臺雞雞 03/25 20:34

→ zick8932511 全世界研發都贏不了中國 03/25 20:37

推 edison3333 PTT有再酸葡萄了 03/25 20:44

推 gn01924077 70mW…throughput會很慘… 03/25 20:52

推 ggiccggicc 100台同時用不就70%？ 200台140% 贏麻了 03/25 21:00

→ asidy 輸出功率笑死XD,用duv良率能上來再吹吧 03/25 21:22

推 kungwei 手磨3nm 03/25 21:34

推 reko3703 光力過剩…. 03/25 22:22

→ yuandsan 怕死了，明天全部出清艾斯摸餌 03/25 23:34

推 horsetail 中國最會表面工程包括標題都是 03/26 00:19

推 CoachKuester 鐘又淫 03/26 00:19

推 rainys 再研發個30年進入量產遙遙領先 03/26 01:14

→ godchoice 中騙子美強盜，韭菜喜歡那個呢？ 03/26 07:23

推 aleventy GG大利多 03/26 08:15

→ akway 中又贏 03/26 08:32

噓 sanos168 大外吹 03/26 09:30

→ opqr9988 這個大概10年前就有了不過功率不足 03/26 11:11

噓 octavinus 中又贏 03/26 12:27

推 mdkn35 NMSL 03/26 13:08

推 ice1015 0.7%wwwwwwww 03/26 19:17

噓 phoenixtwo 講半天不能傷用 03/26 21:58