Re: [新聞] ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破

作者rosemary0401 (rosemary)

標題Re: [新聞] ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破

時間Sat Jan 18 21:40:21 2025

※ 引述《scitamehtam (新竹恐牙狼)》之銘言： : ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破下一步國產曝光機？ : https://www.chinatimes.com/realtimenews/20250118000073-260410 : 哈爾濱工業大學（哈工大）近日宣布，已成功研發出13.5奈米極紫外光（EUV）光源技術 : ，打破此領域由美國企業壟斷的局面，也為大陸的國產EUV曝光機製造點亮了一線曙光。 : 此消息一出，對於掌握EUV曝光機主導地位的ASML（艾司摩爾）來說始料未及，該公司先 : 前曾強調，EUV機台的開發仰賴超過40個國家、數百家供應商技術的匯集。發表一些自己的看法，給大家批判。先說我自己的結論：中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。 ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1] 首先哈工大並沒有像ASML一樣，完全地掌握EUV光源技術，這個甚至很多中國的自媒體都有提到。 EUV的光源系統有多條技術路線： 1. 同步輻射 2. FEL 3. LPP 4. DPP 5. LDP 其中LPP和DPP是比較有商用可能性的，目前ASML的EUV光源系統採用的LPP技術路線，而哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP路線，而且這僅僅是在DPP的研究上取得一些成果，距離可以商用，並且用於量產，可能還需要很長的一段時間。所以我們才說哈工大並沒有完全地掌握EUV光源技術。那中國要掌握EUV光源技術大概需要多久呢？我們可以參考過去技術突破的一些案例。比方說幾週前大日本印刷DNP有技術突破，開發出給High-NA EUV用的1奈米光罩[2]，但同時也提到預計在2027年才能用於2奈米的量產，並在2030年才能用於1奈米的量產。又比方說在2023年底，佳能開發出號稱可以用於2奈米壓印(NIL)設備，但目前僅鍇俠用於15奈米的NAND快閃記憶體製造上，並且計劃在2025年用於5奈米的NAND快閃記憶體製造， [3] 並沒有提到NIL什麼時候可以用在2奈米的量產。所以一個技術的突破，到可以商用量產，花個3-5年，那是很正常的。更何況哈工大取的進展的是ASML曾經捨棄的DPP技術路線，還不是目前正在用的LPP技術路線。如果中國能花5年追上ASML目前的EUV光源技術，那已經是很了不起的成就了。但那也僅僅是突破光源技術而已...... EUV曝光機有5000+個供應商，數10萬個零部件，光源技術僅僅是EUV的核心零件之一。 EUV曝光機的核心零件包含但不限於：光源系統：美國Cymer，日本Gigaphoton 鏡頭：德國蔡司光罩：美國Photronics，日本DNP 雙工作台：日本東京威力科創真空儀器儀表：美國BrooksAutomation 離子注入機套件：美國AxcelisTechnologies …等等台灣的漢微科和信邦電子也都有提供零部件給ASML。而這些提供零部件給ASML的公司，很多都是該領域的一方之霸。所以人們才說EUV曝光機是皇冠上的珍珠，是人類智慧的結晶，很難由一個國家單獨製造出來。當然，這5000+個供應商，中國未必全部都要攻克，也許有些零件不在制裁清單上面，用買的也可以。如果中國在5-10年內做出一台EUV的樣機，我並不會感到太訝異(但從樣機到可以量產，可能還要再花個3-5年) 因為尼康就曾在2007-2008年左右就做出EUV的樣機， [4] 只因研發成本昂貴，又無法在商業上取的進展，最終放棄了EUV的開發。我的結論是，中國在科研領域確實有一些成果，但和ASML的差距仍然是非常的巨大。 ASML的CEO之前說『和西方的差距有10-15年』其實並不誇張。[1] 如果中國有無限的資金，花個10-15年趕上現在的ASML，也許真有可能。 Reference: [1] https://reurl.cc/5DEV8z [2] https://reurl.cc/M6G9Rk [3] https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html [4] https://www.163.com/dy/article/HVFS9PFI0553OSM3.html -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 113.39.122.17 (日本) ※ 文章網址: https://webptt.cc/bbs/Stock/M.1737207626.A.56E.html

推文 (108)

推 good5755 可是我記得前幾年網路上都在吹2025超越歐美耶 01/18 21:46

推 Destery 砸$也許有機會但成本高昂商用恐怕無人買單 01/18 21:47

推 ssarc 日本供應零件居然有那麼多 01/18 21:48

推 g27834618 中吹可不是這樣想喔 01/18 21:48

推 stocktonty 日本還是關鍵材料劑的供應商 01/18 21:49

推 kobebrian 趕上「現在的」也只是「有可能」 01/18 21:51

推 atlaswhz 中吹疑美:日本半導體業被美廢掉 01/18 21:54

推 cfceo 我記得前兩年是給張圖紙設計圖，中國都做不出來耶 01/18 21:55

推 cfceo 現在都能出口白菜價光刻機，歐美半導體強一點好嗎？ 01/18 21:57

→ cfceo 領先個50年好嗎，不然門檻太低很容易跨越啊 01/18 21:57

推 bj45566 你肯定是這討論串中最瞭解 EUV 的專家 01/18 22:14

→ bj45566 感謝詳細解說 01/18 22:15

推 kickflip 同意 01/18 22:16

推 b1izzard2000 專業 01/18 22:19

→ WEYNI 中國目前策略穩定7奈米良率尋求開發設備 01/18 22:20

推 wallowes 是指15年後追到2025年的水準嗎? 01/18 22:22

→ bnn 問就是華為買單讚讚讚快蓋一百座 01/18 22:23

推 lovehandle 這篇才是理性討論 01/18 22:25

推 hanmas 好像很專業 01/18 22:28

推 URayJJ 還附上出處請收下我的膝蓋 01/18 22:28

推 BaGaJohn5566 專業給推 01/18 22:45

推 RegOwl 推專業 01/18 22:47

推 reason11 專業推 01/18 22:59

推 roseritter 推 01/18 23:01

→ ActionII Intel 這樣敗也是花了好幾年才變成這樣…要超車真 01/18 23:02

→ ActionII 的要花時間 01/18 23:02

→ ActionII Zen1 都是十年前發表的東西了 01/18 23:02

→ ActionII 追趕先行者本來就是數十年累積的事 01/18 23:04

推 FFFAAA 實力差距確實存在一定距離，但如果零件基本上都是大 01/18 23:04

→ FFFAAA 陸出廠，外地組裝設定再銷售給大陸台灣，那是不是大 01/18 23:04

→ FFFAAA 陸COPY 能力再度顯現，那天突破精進再慢慢追上這可 01/18 23:04

→ FFFAAA 能發生？例如電池？ 01/18 23:04

推 mytropicfish 推 01/18 23:16

推 chanceperson 看不懂只好推了 01/18 23:25

推 alau 中國最大的塞子-小學生，不先幹掉是沒有希望的 01/18 23:53

推 kendiv 問題就是對手也會進步在不能偷的情況下差距只會越 01/19 00:06

→ kendiv 拉越大 01/19 00:06

推 FishYui 專業給推，實際上應該也是如此，尖端科技並不存在 01/19 00:20

→ FishYui 彎道超車，就算舉全國之力狠砸錢也不是一兩年就能 01/19 00:20

→ FishYui 超越的事 01/19 00:20

推 Blastodern 笑死，這篇太中肯完全看不到中吹，可能在跟統戰部 01/19 00:23

→ Blastodern 要文案吧。 01/19 00:23

推 HiuAnOP 現在是拼的是歐美日台分工合作vs中國自行研抄襲 01/19 00:41

→ HiuAnOP 看哪一個集團進步速度會比較快 01/19 00:41

推 HiuAnOP 人口其實不是科研進步最大重點就算要比歐美日加起 01/19 00:44

→ HiuAnOP 來人也夠多了，還有印度人才庫呢 01/19 00:44

推 sgaor 這篇文章也點出大家常問到的，為何荷蘭商要聽美國 01/19 00:44

→ sgaor 的 01/19 00:44

→ sgaor 但這些內容在晶片戰爭都有啊，我以為討論gg看完晶 01/19 00:45

→ sgaor 片戰爭是基本操作 01/19 00:45

→ maple76226 論文大師這篇沒辦法噴或吹某些國，只好去上面那篇 01/19 00:49

→ maple76226 下面 01/19 00:50

推 fg008kimo 但我發現中國的策略就是做出你的7.8成就可以吹了 01/19 02:01

→ fg008kimo 他們目標是做出7.8成效能然後吹到跟你不相上下再 01/19 02:01

→ fg008kimo 用價格戰玩到你倒或是把你打到壓力很大 01/19 02:02

→ fg008kimo 電池太陽能晶圓成熟製程可以這樣玩高階的可能會 01/19 02:03

→ fg008kimo 先拆解大模組去一一攻先抄襲然後改良接近你 01/19 02:03

→ loko 花10-15年趕上現在的ASML 那東西也只是垃圾 01/19 02:17

推 konichiwaman 來一個有料的發文了 01/19 02:52

推 fancyrex 推 01/19 03:06

推 lofiktb 認真分析推 01/19 03:21

推 APC 某國問題是一直想彎道超車，但搞到經濟淚潸潸 01/19 04:11

推 UniQue3oNe advance node沒有什麼七八成這種事，沒有相近的良 01/19 04:41

→ UniQue3oNe 率就是賠到脫褲子 01/19 04:41

→ mangobing 光源已經不是Cymer囉 01/19 06:55

推 sansiaman 專業分析推 01/19 07:16

推 hune 當年狂吹的2025中國製造如今... 01/19 07:39

推 hardworking 推專業 01/19 07:56

推 camellala 專業給推 01/19 08:25

推 shi0520 漢微科已經被ASML併購了 01/19 08:35

推 turgnev 2050年會達到2025年的水準 01/19 09:04

推 Instance 推 01/19 09:25

推 WarGod5566 即使波長對了，還有光束品質要處理 01/19 09:26

推 lcy317 什麼東西都7-8成到了良率上就變成1-2成了 01/19 09:34

→ lcy317 尖端科技是技術的累積沒有什麼彎道超車 01/19 09:35

→ lcy317 中國的強項是改良泛應用化你要說難聽就抄襲複製 01/19 09:35

→ lcy317 光是蔡司那個鏡頭反射鏡全世界就沒有第二個廠商 01/19 09:37

推 elliotpepe 專業 01/19 09:42

推 AirLee 領先10年就夠了，除以二讓你5年追上，五年內台積營 01/19 09:43

→ AirLee 收都賺翻了 01/19 09:43

推 Tohkachan 先進製程良率差一點成本可不是差一點成熟能這樣搞 01/19 10:10

推 yannicklatte 推 01/19 10:10

→ Tohkachan 先進不可能但只是要滿足中國內部科技國防需求也許 01/19 10:10

→ Tohkachan 夠吧 01/19 10:10

→ dickyatw111 ---中國常在說：dpp路線，終將走向滅亡 01/19 10:12

推 BarryDale 花10-15年只能趕上2025年的西方水準，到時候已經是 01/19 10:12

→ BarryDale 2035年了，2035年時用2025時的EUV也是沒用 01/19 10:12

→ BarryDale 中國的可商業運用被卡在7奈米幾乎是確定的事情了 01/19 10:14

推 yoshian886 美國那幾家技術流出這麼多，只鞭asml根本搞笑 01/19 10:15

推 doranako 推一個 01/19 10:25

→ AirLee 要搞這麼大個機台就真的不是那麼簡單 01/19 10:41

推 nn1975 中國倒了最好吹了幾十年還是一堆土霸 01/19 10:42

推 YJJ 精密中的精密 01/19 11:03

推 sky121 打開第一篇就看到專家推 01/19 11:16

推 lyxiang 專業推 01/19 12:03

推 rize1216 專業分析推一個 01/19 12:19

推 s213092921 你說的很好，但是2025中國製造 01/19 12:37

推 u3330727 這才是比較接近實際的看法，畢竟實驗室到量產過程 01/19 12:55

→ u3330727 還有很多問題要克服 01/19 12:55

推 super1315566 推推 01/19 16:44

推 sgeneral 這篇好有說服力讚 01/19 20:05

推 minazukimaya 可是報導裡說粒子加速產生光這是同步幅射啊... 01/19 23:04

→ minazukimaya 不是DPP 所以要嘛是記者搞錯要嘛又是一貫的胡吹 01/19 23:05

推 milubi 推 01/20 12:38

→ potionx 有無限的資金幹嘛去做一個賺有限錢的東西邏輯壞死 01/20 14:10

→ potionx 所以必然是做不成功的 01/20 14:11

推 ImMACACO 專業 01/20 23:04

推 SLOWFAX 嗯中國走DPP路線不怕被小粉紅出征嗎 12/23 11:22