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1.媒體來源:
自由時報
2.記者署名:
洪美秀
3.完整新聞標題:
清大團隊用「光絲」產生埃秒脈衝 可望助攻半導體EUV檢測
4.完整新聞內文:
https://i.meee.com.tw/IYBW5Fv.jpg
清華大學電機工程學系副教授陳明彰研究團隊,近期在超快光學與極紫外光(EUV)領域取
得重要突破,首創利用「光絲化」(filamentation)機制,直接產生高品質孤立埃秒脈衝
(Isolated Attosecond Pulse, IAP),為桌上型超快極紫外光光源開啟全新方向。
埃秒(attosecond)是十億分之一的十億分之一秒,這種極短光脈衝如同觀察電子運動的「
超高速閃光燈」,傳統上,要產生高品質的孤立埃秒脈衝,通常需要複雜的光學系統與精密
調整。
清大團隊此次發現,當高強度雷射進入氣體後,會形成一條細長且穩定的「光絲(filament
)」,在這段傳播過程中,光脈衝會自然被壓縮、空間模式也同步被淨化,就像光在傳播過
程中自己變得更短、更乾淨。
研究團隊利用此現象,成功將原本約4.7飛秒(fs)的雷射脈衝自然壓縮至約3.5飛秒,並進
一步產生高對比、高穩定度的孤立埃秒脈衝。這項成果提供更簡潔、更穩定的技術路徑,讓
產生IAP與EUV supercontinuum不再需要高度複雜的系統調校。且代表未來高穩定、高重複
率、低維護需求的桌上型埃秒EUV光源,有機會逐步從大型實驗室走向更廣泛的學術與產業
應用。
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